“潔凈室”是指為清除一定空間范圍內空氣中的顆粒、有害空氣、細菌等污染物，將室內溫度、潔凈度、室內壓力、氣流速度及分布、噪聲、振動、照明、靜電等控制在一定需求范圍內而專門設計的房間。也就是說，無論外界空氣條件如何變化，房間都能具有保持原有設定要求的潔凈度、溫度、濕度、壓力等性能的特性。

潔凈室最重要的功能是控制產品(如硅片等)所處環境的潔凈度、溫度和濕度。)都是暴露的，這樣產品就可以在一個良好的環境空間里生產制造，我們稱之為“潔凈室”。

潔凈室控制：可以防止塵埃粒子的產生；溫度和濕度控制。

潔凈室之分類

1.亂流式：空氣由空調箱經風管與潔凈室內之空氣過濾器進入潔凈室，并由潔凈室兩側隔間墻板或高架地板回風。氣流非直線型運動而呈不規則之亂流或渦流狀態。

2.層流式：水平層流式：水平式空氣自過濾器單方向吹出，由對邊墻壁之回風系統回風，塵埃隨風向排出室外，一般在下流側污染較嚴重；垂直層流式：房間天花板完全以ULPA過濾器覆蓋，空氣由上往下吹，可得較高之潔凈度，在制程中或工作人員所

3.復合式為將亂流式及層流式予以復合或并用，可提供局部超潔凈之空氣。

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