潔凈車間的主要目的是控制產品(如硅片等)所處環境的潔凈度、溫度和濕度。)都是暴露在外的,使產品能夠在一個良好的環境空間內生產制造,我們稱之為凈化車間。按照國際慣例,無塵凈化水平主要是根據每立方米空氣中直徑大于分類標準的顆粒物數量來定義的。
控制內容包括:防止塵粒的產生;控制溫度和濕度;壓力的調整;消除有害氣體;結構和艙室的氣密性;防止靜電產生;照明調節等。
使用分類
工業潔凈車間
主要控制空氣塵粒對工作對象的污染,內部一般保持正壓。適用于精密機械行業和電子行業(半導體、集成電路等。
生物潔凈車間
主要控制微生物(細菌)物的污染。同時,其內部材料應能承受各種滅菌劑的侵蝕,內部壓力一般有保證。如食品和化妝品行業。