潔凈是在一定空間內消除空氣中的顆粒物、有害空氣、細菌等污染物，將室內溫度、潔凈度、壓力、氣流速度和氣流分布、噪聲和振動、照明和靜電控制在一定需求范圍內的工程學科。凈化院專門設計的房間，無論外界空氣條件如何變化，都具有保持原設定要求的潔凈度、溫度、濕度和壓力的功能。

控制產品(如硅片等)所處環境的清潔度、溫度和濕度。)聯系，使產品能在良好的環境下生產制造。這個空間的設計和建造過程可以稱為凈化工程。

湍流

空氣從空調箱通過潔凈室的風管和空氣過濾器(HEPA)進入潔凈室，經潔凈室兩側的隔墻或高架地板返回。氣流以非線性方式運動，并處于不規則的湍流或渦流狀態。該類型適用于1000-100000級潔凈室。

優點：結構簡單，系統建設成本低，潔凈室易于擴展。在一些特殊用途的場所，可以配合潔凈室車間使用，提高潔凈室等級。

缺點：湍流產生的塵粒漂浮在室內空間，不易排出，容易污染工藝產品。此外，如果系統在關閉后重新啟動，通常需要很長時間才能達到所需的清潔度。

層流

層流氣流運動成平均直線，空氣通過100%覆蓋的過濾器進入室內，由兩側高架地板或隔墻板返回。這種類型適用于潔凈室等級要求高的環境。一般潔凈室級別為1~100級。它可以分為兩種類型：

(1)水平層流：水平空氣從過濾器向一個方向吹出，由對面墻上的回風系統送回。灰塵隨風排放到外面。一般來說，下游污染嚴重。

優點：結構簡單，可在術后短時間內變得不整潔。

缺點：建設成本比紊流高，室內空間不易擴展。

(2)垂直層流：房間天花板全覆蓋ULPA過濾籠，空氣自上而下吹，可獲得更高的潔凈度，將過程中或工作人員產生的粉塵快速排出室外，不影響其他工作區域。

優點：易于管理，術后短時間內可達到無紊亂狀態，不易受作業狀態或作業人員影響。

缺點：結構造價高，空間靈活利用困難，吊頂的吊架按比例占用空間，維修更換濾網麻煩。

復合類型：

復合型是湍流和層流的結合或組合，可以提供局部超凈空氣。

(1)潔凈隧道：工藝區或工作區100%籠蓋HEPA或ULPA過濾器，可將潔凈度提高到10級以上，節省安裝和運行費用。在這種類型中，作業人員的工作區域應與產品和機器維修隔離，以避免在機器維修期間影響工作和質量。這種類型多用于ULSI工藝。

干凈的隧道還有另外兩個優點：a .靈活擴展容易；b .設備維修可以在維修區隨便進行。

(2)潔凈管：產品流經過的自動化生產線被旁通凈化，潔凈度等級提升到100以上。由于產品與作業人員和多塵環境隔離，少量送風即可達到良好的潔凈度，節約能源，不需要人工操作的自動化生產線最適合使用。醫藥，食品工業，半導體工業都是一起用的。

(3)局部清潔點并聯安裝：潔凈室級別為10000 ~ 100000的湍流潔凈室中產品工藝區潔凈度級別提高到10 ~ 1000或以上，考慮用于生產；潔凈工作臺、潔凈工棚、潔凈空氣柜都屬于這一類。