凈化(潔凈室)是基礎(chǔ)配套行業(yè),應(yīng)用行業(yè)廣泛。目前應(yīng)用于食品化妝品、生物制藥、醫(yī)療器械、電子信息、半導(dǎo)體、精密制造、航空航天、汽車噴涂等多個(gè)行業(yè)。按照行業(yè)的精密和無塵要求,等級(jí)差別也很大。凈化院特別設(shè)計(jì)的房間,無論外界空氣條件如何變化,都具有維持原設(shè)定所需的溫度、濕度、潔凈度和壓力的性能。因此,影響凈化工程(潔凈室)成本的因素很多。
一.溫度和濕度
潔凈室的溫度和濕度主要根據(jù)工藝要求確定,但在滿足工藝要求的條件下,應(yīng)考慮人的舒適感。隨著對(duì)空氣潔凈度要求的提高,有一種趨勢是對(duì)工藝的溫度和濕度要求越來越嚴(yán)格。隨著加工精度越來越精細(xì),對(duì)溫度波動(dòng)范圍的要求也越來越小。直徑100 um的硅片,溫度上升1度,引起0.24um的線膨脹,所以需要恒溫0.1度,濕度值一般較低,因?yàn)槿顺龊购螅a(chǎn)品會(huì)被污染,尤其是怕鈉的半導(dǎo)體車間,這個(gè)車間不要超過25度。
濕度過大會(huì)導(dǎo)致更多的問題。當(dāng)相對(duì)濕度超過55%時(shí),冷卻水管壁上會(huì)發(fā)生凝結(jié)。如果發(fā)生在精密器件或電路中,會(huì)造成各種事故。相對(duì)濕度50%時(shí)容易生銹。此外,當(dāng)濕度過高時(shí),附著在硅片表面的灰塵會(huì)被空氣中的水分子化學(xué)吸附在表面,很難去除。相對(duì)濕度越高,越難去除粘附物。然而,當(dāng)相對(duì)濕度低于30%時(shí),由于靜電力,顆粒容易吸附在表面上,并且大量的半導(dǎo)體器件容易被擊穿。
二、潔凈度等級(jí)標(biāo)準(zhǔn)
我國于1984年頒布了《潔凈廠房設(shè)計(jì)規(guī)范》 (GBJ73-84),1996年對(duì)規(guī)范進(jìn)行了較大修訂,1990年頒布了《潔凈室施工及驗(yàn)收規(guī)范》 (JGJ71-90)作為指導(dǎo)施工和驗(yàn)收的重要文件。目前,該規(guī)范已于2010年修訂。
GBJ73-84中規(guī)定的清潔度等級(jí)
等級(jí)
每立方米(升)空氣中0.5m的塵粒
每立方米(升)空氣中的5m塵埃顆粒
100
《35*100(〈3.5〉
1000
《35*1000(〈35〉
《250(〈0.25〉
一萬
《35*10000(〈350〉
《2500(〈2.5〉
100000
《35*100000(〈3500〉
《25000(〈25〉
三。面積
凈化項(xiàng)目面積的大小也決定了報(bào)價(jià),不同凈化等級(jí)的每平米報(bào)價(jià)也不同。凈化工程(潔凈室)等級(jí)越高,單位面積價(jià)格越高。具體參數(shù)可根據(jù)行業(yè)發(fā)展?fàn)顩r確定。當(dāng)然,不同的凈化公司對(duì)凈化項(xiàng)目的報(bào)價(jià)是不一樣的。
第四,設(shè)備是否有指定品牌。
建設(shè)凈化工程(潔凈室)時(shí),不可避免地要使用各種凈化設(shè)備。現(xiàn)在市場上生產(chǎn)凈化設(shè)備的公司數(shù)不勝數(shù),質(zhì)量良莠不齊。有些公司在凈化項(xiàng)目中對(duì)設(shè)備質(zhì)量要求比較嚴(yán)格,根據(jù)產(chǎn)生的費(fèi)用也會(huì)影響報(bào)價(jià)。
為什么同一凈化項(xiàng)目不同公司報(bào)價(jià)差距很大?從經(jīng)濟(jì)學(xué)的角度來看,潔凈室裝修市場的競爭主要是成本的競爭。誰能保證工期和質(zhì)量,重視成本管理,控制和把握合理的成本,以最低的成本獲得最大的效益,誰就能在潔凈室領(lǐng)域的競爭中占據(jù)主動(dòng),取得成功。
凈化(潔凈室)是基礎(chǔ)配套行業(yè),應(yīng)用行業(yè)廣泛。目前應(yīng)用于食品化妝品、生物制藥、醫(yī)療器械、電子信息、半導(dǎo)體、精密制造、航空航天、汽車噴涂等多個(gè)行業(yè)。按照行業(yè)的精密和無塵要求,等級(jí)差別也很大。釷
一.溫度和濕度
潔凈室的溫度和濕度主要根據(jù)工藝要求確定,但在滿足工藝要求的條件下,應(yīng)考慮人的舒適感。隨著對(duì)空氣潔凈度要求的提高,有一種趨勢是對(duì)工藝的溫度和濕度要求越來越嚴(yán)格。隨著加工精度越來越精細(xì),對(duì)溫度波動(dòng)范圍的要求也越來越小。直徑100 um的硅片,溫度上升1度,引起0.24um的線膨脹,所以需要恒溫0.1度,濕度值一般較低,因?yàn)槿顺龊购螅a(chǎn)品會(huì)被污染,尤其是怕鈉的半導(dǎo)體車間,這個(gè)車間不要超過25度。
濕度過大會(huì)導(dǎo)致更多的問題。當(dāng)相對(duì)濕度超過55%時(shí),冷卻水管壁上會(huì)發(fā)生凝結(jié)。如果發(fā)生在精密器件或電路中,會(huì)引起各種結(jié)露。
事故。相對(duì)濕度在50%時(shí)易生銹。此外,濕度太高時(shí)將通過空氣中的水分子把硅片表面粘著的灰塵化學(xué)吸附在表面耐難以清除。相對(duì)濕度越高,粘附的難去掉,但當(dāng)相對(duì)濕度低于30%時(shí),又由于靜電力的作用使粒子也容易吸附于表面,同時(shí)大量半導(dǎo)體器件容易發(fā)生擊穿。