無(wú)塵車(chē)間為什么要控制溫濕度？主要作用和具體措施是什么？

無(wú)塵車(chē)間的溫度和濕度主要根據(jù)你的加工工藝要求來(lái)決定。在滿足加工工藝的條件下，應(yīng)首先考慮人的舒適性。隨著空氣潔凈度要求的提高，工藝對(duì)溫濕度的要求越來(lái)越高，必須達(dá)到一定的溫濕度水平。例如，在大規(guī)模集成電路生產(chǎn)的光刻曝光工藝中，要求作為掩膜材料的玻璃和硅片的熱膨脹系數(shù)之差越來(lái)越小。直徑100 um的硅片，溫度上升1度，引起0.24um的線膨脹，所以需要恒溫0.1度，濕度值一般較低，因?yàn)槿顺龊购螅a(chǎn)品會(huì)被污染，尤其是怕鈉的半導(dǎo)體車(chē)間，這個(gè)車(chē)間不要超過(guò)25度。濕度過(guò)大會(huì)導(dǎo)致更多的問(wèn)題。當(dāng)相對(duì)濕度超過(guò)55%時(shí)，冷卻水管壁上會(huì)發(fā)生凝結(jié)。如果發(fā)生在精密器件或電路中，會(huì)造成各種事故。相對(duì)濕度50%時(shí)容易生銹。

但對(duì)于大部分潔凈空間，為了防止外界污染侵入，需要保持內(nèi)部壓力(靜壓)高于外部壓力(靜壓)。壓差的維持一般應(yīng)滿足以下原則：

1.具有高清潔度水平的空間的壓力高于具有低清潔度水平的相鄰空間的壓力。

2.相通的潔凈室之間的門(mén)應(yīng)向潔凈度高的房間敞開(kāi)。

潔凈空間的壓力高于不潔凈空間的壓力。

壓差的維持依賴于新風(fēng)量，新風(fēng)量可以補(bǔ)償這個(gè)壓差下從縫隙漏出的風(fēng)量。因此，壓差的物理意義是泄漏(或滲透)氣流通過(guò)潔凈室各種縫隙的阻力。

對(duì)于湍流潔凈室，空氣的稀釋是減少室內(nèi)污染的主要途徑，所以主要采用換氣次數(shù)的概念，而不是直接采用速度的概念。但是，室內(nèi)空氣流速也有以下要求；

1.送風(fēng)口出口處的風(fēng)速不能太高。與空調(diào)房間相比，要求速度衰減更快，擴(kuò)散角更大。

2.氣流橫過(guò)水平面的速度(如側(cè)送時(shí)的回流速度)不宜過(guò)高，以免將表面顆粒吹回氣流中造成二次污染。這個(gè)速度一般不應(yīng)該是0.2m/s。

我國(guó)《空氣潔凈技術(shù)措施》和《潔凈廠房設(shè)計(jì)規(guī)范》)都是這樣規(guī)定的。

平行流(層流)潔凈室0.25米/秒

平行流(層流)潔凈室0.35米/秒