我相信任何企業都非常關心潔凈室的能耗。上海鴻潔源凈化通過十余年的凈化設計和施工經驗，對半導體潔凈室內外的能源負荷進行了說明，并對半導體潔凈室可能的節能方法進行了逐一詳細的說明。

A.室內負荷：

(a)人員(顯熱=6千卡/小時，潛熱=5千卡/小時)

(b)照明：30W/(在黃燈區，這個值應該大1.5倍左右)

(c)機器負荷：輸入功率x負荷系數冷卻循環水負荷=循環水流量x水溫差(此處溫差在5左右)排氣負荷=排氣量x排氣溫差，此處排氣溫差可分為三類：1 .酸氣、有機氣或緊急排氣的排氣溫差一般為5，2。不可燃氣體的排氣溫差約為10，3。產生高溫的機器的排氣裝置的排氣溫差在20左右。

(d)鼓風機熱負荷：輸入功率x負荷系數。

B.室外負載：

室外空氣輸入x室內外空氣的焓差，其中室外空氣輸入包括排氣量加上換氣和維持正壓所需的人員數量。在分析半導體潔凈室的能耗時，我們必須明白，一般的工作區分為1個制造區，即fab區，2個組裝區和測試區。通常每個區的潔凈度和要求水平會有所不同，潔凈室的結構也會有所不同。如圖所示，A.H.U系統通常與作為裝配區或測試區的紊流潔凈室配合使用。如果潔凈室的設計采用湍流式，吊頂內不要充滿過濾器，過濾器的面積與吊頂面積的比值必須達到一定值，才能保證潔凈度。而且，由于氣流分布的關系，通常在過濾器的出口處安裝擴散器，以加強過濾器出口空氣的擴散面積。對于工廠區域，目前有三種常見的潔凈室設置，即開放式隔間系統、風扇過濾單元系統和風扇模塊系統。它們的原理圖分別如圖2、3和4所示。通常在選擇FAB區域的潔凈室類型時，必須考慮生產、維護、使用壽命和初投資能耗等因素，進行綜合考慮。以上三種類型各有利弊，選擇必須多方考慮。目前最佳方案的確定尚無定論，仍需研究。目前，普遍認為風機-過濾單元系統和風機-模塊系統比開間系統具有更大的節能空間。

就半導體潔凈室的負荷特性而言，無論上述三個FAB區的潔凈室類型如何，暖通空調的熱負荷都遠高于普通建筑。其中，建筑物的穿透負荷、人員和燈光負荷與普通辦公室相差不大，但室外空氣負荷、機器負荷和風機負荷占全部暖通負荷的90%以上，其中室外空氣負荷實際占45 ~ 45%。