凈化等級一般分為100、1000、10000、100000?，F在2010年的GMP凈化車間已經不叫這個名字了，分為ABCD級，分別對應98年的幾個等級。凈化等級由檢測區域內的塵埃粒子數、浮游菌數和平均沉降量來評價。每個等級都有不同的要求，凈化等級分為靜態和動態兩個等級。

(1)潔凈室之等級世界的所有國家都有自己的規范，但通常使用美國聯邦標準209。以下是209D和209E與世界其他國家制定的標準的介紹和比較。209E和209D最大的區別是在209E指示單位上增加了公制單位，潔凈室等級用前綴M'表示，如M1，M1.5，M2.5，M3.以此類推，符合國際公制單位的標準化，字母M后的阿拉伯數字為=0.5m每立方米。

? 潔凈室之分類1.亂流式(Turbulent Flow)：　　空氣由空調箱經風管與潔凈室內之空氣過濾器(HEPA)進入潔凈室，并由潔凈室兩側隔間墻板或高架地板回風。氣流非直線型運動而呈不規則之亂流或渦流狀態。此型式適用于潔凈室等級1,000-100,000級。 　　優點：構造簡單、系統建造成本，潔凈室之擴充比較容易，在某些特殊用途場所，可并用無塵工作臺，提高潔凈室等級?！　∪秉c：亂流造成的微塵粒子于室內空間飄浮不易排出，易污染制程產品。另外若系統停止運轉再激活，欲達需求之潔凈度，往往須耗時相當長一段時間。 2.層流式(Laminar)：　　層流式空氣氣流運動成一均勻之直線形，空氣由覆蓋率100%之過濾器進入室內，并由高架地板或兩側隔墻板回風，此型式適用于潔凈室等級需定較高之環境使用，一般其潔凈室等級為Class 1~100。其型式可分為二種：　　(1)水平層流式：水平式空氣自過濾器單方向吹出，由對邊墻壁之回風系統回風，塵埃隨風向排出室外，一般在下流側污染較嚴重。　　優點：構造簡單，運轉后短時間內即可變成穩定?！　∪秉c：建造費用比亂流式高，室內空間不易擴充?！　?/span>(2)垂直層流式：房間天花板完全以ULPA過濾器覆蓋，空氣由上往下吹，可得較高之潔凈度，在制程中或工作人員所產生的塵?？煽焖倥懦鍪彝舛粫绊懫渌ぷ鲄^域?！　烖c：管理容易，運轉開始短時間內即可達穩定狀態，不易為作業狀態或作業人員所影響?！　∪秉c：構造費用較高，彈性運用空間困難，天花板之吊架相當占空間，維修更換過濾器較麻煩。 3.復合式(Mixed Type)：　　復合式為將亂流式及層流式予以復合或并用，可提供局部超潔凈之空氣。　　(1)潔凈隧道(Clean Tunnel)：以HEPA或ULPA過濾器將制程區域或工作區域100%覆蓋使潔凈度等級提高至10級以上，可節省安裝運轉費用。此型式需將作業人員之工作區與產品和機器維修予以隔離，以避免機器維修時影響了工作及品質，ULSI制程大都采用此種型式。　　潔凈隧道另有二項優點：A.彈性擴充容易； B.維修設備時可在維修區輕易執行。　　(2)潔凈管道(Clean Tube)：將產品流程經過的自動生產線包圍并凈化處理，將潔凈度等級提至100級以上。因產品和作業員及發塵環境相互隔離，少量之送風即可得到良好之潔凈度，可節省能源，不需人工的自動化生產線為最適宜使用。藥品、食品業界及半導體業界均適用。　　(3)并裝局部潔凈室(Clean Spot)：將潔凈室等級10,000~100,000之亂流潔凈室內之產品制程區的潔凈度等級提高為10~1000級以上，以為生產之用；潔凈工作臺、潔凈工作棚、潔凈風柜即屬此類。　　潔凈工作臺：等級Class 1~100級。　　潔凈工作棚：為在亂流式之潔凈室空間內以防靜電之透明塑料布圍成一小空間，采用獨立之HEPA或ULPA及空調送風機組而成為一較高級之潔凈空間，其等級為10~1000級，高度在2.5米左右，覆蓋面積約10m2以下，四支支柱并加裝活動輪，可為彈性運用。