潔凈室的排氣系統是潔凈室中非常重要的系統。潔凈室的排氣系統有利于潔凈室的清潔處理和廢氣排放，能夠快速清理測試現場，保證潔凈室保持清潔干凈。
一、潔凈廠房排風管道的制造應符合以下要求：易燃、有毒排風管道的襯墊材料和固定材料應為不燃材料；風管所用的螺栓、螺母、墊圈、鉚釘應采用與管道性能相適應且不產生電化學腐蝕的材料，或采用鍍鋅等防腐措施；鍍鋅鋼板不應被鍍鋅層嚴重損壞，如表層大面積白花、涂層粉化等。風管法蘭螺栓與鉚釘孔之間的距離不應大于100；矩形風管法蘭的四角應設有螺孔。
二、當排風管道穿過防火防爆墻、天花板或地板時，應設置保護套管，套管鋼板厚度不應小于1.6。防護套管應提前預埋并可靠固定；風管與保護套之間，應用不燃材料密封。排風管道的安裝應符合下列要求：輸送易燃易爆介質的排風管道或安裝在爆炸危險環境中的風管應良好接地；當排風管道穿過潔凈室(區)的墻壁、天花板和地面時，應配備套管和密閉結構；不允許其他管道穿過排氣管；室外排氣立管應采用拉索固定，嚴禁與避雷針或避雷網連接。
三、排氣設備的搬運和吊裝應符合以下要求：排氣設備的搬運和吊裝應符合產品規范的相關要求，并做好相關防護工作，防止設備損壞或搬運性能下降；大中型設備搬運和吊裝前，應根據外形尺寸、重量、產品規格、安全生產要求等，制定安全可行的搬運和吊裝方案。并經建設單位和項目監理批準后實施。
